乐鱼体育app官方下载:芯恩请求根据扫描电子显微镜的器材缺点点测量方法及检测设备专利可以更精确地辨认和测量出缺点点的要害尺度

  国家知识产权局信息数据显现，芯恩（青岛）集成电路有限公司请求一项名为“根据扫描电子显微镜的器材缺点点的测量方法及检测设备”的专利，公开号CN122073981A，请求日期为2024年11月。

  专利摘要显现，本发明供给一种根据扫描电子显微镜的器材缺点点的测量方法及检测设备，测量方法有：在GDS图层中截取需要量测缺点点的规范图画区域；在规范图画区域的要害部位两边边际符号图形热门；经过扫描电镜对实践待测图层进行扫描，在待测图层中拍照出与规范图画区域方位和扩大份额相同扫描图画区域；辨认扫描图画区域的量测鸿沟，将GDS图层的规范图画区域与实践待测图层的扫描图画区域进行堆叠，获取图形热门的连线与量测鸿沟的两相交点，量测两相交点之间的距离，以取得实践待测图层缺点点的实践要害尺度。本发明可以更精确地辨认和测量出缺点点的要害尺度(CD)，明显削减操作人员的工作量，缩短故障诊断和扫除的时刻，进步出产功率。

  天眼查资料显现，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，坐落青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。经过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外出资了2家企业，参加招投标项目183次，产业线条，此外企业还具有行政许可56个。

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